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上海富乐德智能科技申请石英刻蚀液中元素含量分析方法专利,减少前处理刻蚀时间提高前处理效率

上海富乐德智能科技申请石英刻蚀液中元素含量分析方法专利,减少前处理刻蚀时间提高前处理效率

金融界2025年4月5日消息,国家知识产权局信息显示,上海富乐德智能科技发展有限公司申请一项名为“一种石英刻蚀液中元素含量分析方法”的专利,公开号CN119757319A,申请日期为2024年11月。

上海富乐德智能科技申请石英刻蚀液中元素含量分析方法专利,减少前处理刻蚀时间提高前处理效率
(图侵删)

专利摘要显示,本发明公开了一种石英刻蚀液中元素含量分析方法,主要包括如下五道工序:(A)石英清洗;(B)石英刻蚀空白取样;(C)石英刻蚀液取样;(D)刻蚀溶液中SiO2含量及刻蚀深度测量及计算;(E)刻蚀溶液杂质元素含量测量及计算。本发明固定了前处理流程中石英清洗、石英刻蚀液空白取样的流程,减少前处理刻蚀时间,提高前处理效率;实现通过同一石英刻蚀液可获得刻蚀深度、刻蚀溶液SiO2含量和刻蚀溶液8种杂质元素含量;可连续获得石英表面不同深度的刻蚀溶液,对不同深度刻蚀溶液的杂质元素进行分析。

天眼查资料显示,上海富乐德智能科技发展有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币,实缴资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海富乐德智能科技发展有限公司参与招投标项目7次,专利信息67条,此外企业还拥有行政许可19个。

本文源自:金融界

作者:情报员

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